?金属对金属密封，在真空到高压范围内提供无泄漏服务 ?内部容积小，可完全吹扫流道 ?全包裹阀座设计，具有优越的抗膨胀和防污染能力 ?镍钴合金膜片，具有更高的耐久性和抗腐蚀性 ?标准的粗糙为Ra0.25μm（BA级），或者电解抛光Ra0.13μm（EP级）可选 ?氦气测试泄漏率＜1×10-9 std cm3/s ?气动执行器可供选择 ?气动阀寿命可达300万次